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PRÄZISIONSSUBSTRATE FÜR SYNCHROTRON- BEAMLINES

NOK-Planflächensubstrate:

Die ok GmbH fertigt Synchrotron-Planflächensubstrate mit Nanometer-Formgenauigkeit auf Grundlage des klassischen Pech-Polierverfahrens nach dem Autokorrektur-Prinzip. Einen Artikel hierzu finden Sie in: Bessy Highlights 2004, ISSN 1611-6127 "High precision optics: Mirror, mounts and drives" (für mehr Informationen hier download als pdf-Datei [857 KB] ) © BESSY GmbH Berlin, www.bessy.de
(Kooperationspartner für Ionenstrahl-Formgebung von Präzisionsflächen mit Nanometergenauigkeit: IOM e.V. Leipzig (www.iom-leipzig.de) bzw. Nano Technologie Leipzig (www.ntgl.de))


 

Wir bieten an:

Substrate für Spiegel, Gitter und Monochromatoren (Sphären und Plan-flächen)
aus monokristallinem Silizium, Zerodur® (Schott AG), ULE® (Corning Ltd.), Quarzglas und vielen weiteren Materialien



 

Präzisionssubstrate Wir fertigen Präzisionssubstrate auf Kundenwunsch

Slope-Error-Protokoll eines Spiegelsubstrates

Slope-Error-Protokoll (zum Vergrößern bitte auf die Grafik klicken)




Unsere Substratoberflächen zeichnen sich aus durch

Mikrorauhigkeiten bis zu Rq < 0,2 nm RMS
Formabweichungen (Slope-Error) im Bereich von 0,1 arcsec RMS in Quer- und Längsrichtung.



MICROMAP-Aufnahme einer Si-Oberfläche

MICROMAP-Aufnahme einer Si-Oberfläche




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